Characterization of Polycapillary Optics Installed in an Analytical Electron Microscope

分析电子显微镜中安装的多毛细管光学元件的表征

引文

标题：分析电子显微镜中安装的多毛细管光学器件的表征
作者：高野晃、前田圭介、伊代本直子、原彻、光田和久、山崎纪子、田中敬一
期刊：JPS Conf。过程。
卷：11
文章编号：030003
年份：2016
DOI： https://doi.org/10.7566/JPSCP.11.030003

关键词

  • 多毛细管光学元件
  • 扫描透射电子显微镜 (STEM)
  • 能量色散X射线能谱 (EDS)
  • TES微量热仪
  • 硅漂移探测器 (SDD)
  • 焦斑尺寸
  • 强度增益

简介

安装在扫描透射电子显微镜 (STEM) 中的多毛细管光学元件的特点是通过增加能量色散谱仪中使用的TES微量热仪的检测立体角来提高纳米级材料分析的准确性。

摘要

本文题为“安装在分析电子显微镜中的多毛细管光学器件的表征”，探讨了如何使用多毛细管光学器件来提高扫描透射电子显微镜 (STEM) 中纳米级材料分析的准确性。

以下是本文的一些要点：

  • 作者指出，使用硅漂移探测器 (SDD) 的传统能量色散谱仪 (EDS) 能量分辨率有限，阻碍了精确分析。
  • 一种有前景的替代方案是配备超导过渡边缘传感器 (TES) 的微量热仪，它能够提供卓越的能量分辨率。
  • 然而，TES 微量热仪对磁场敏感，并且敏感区域有限。为了解决这个问题，作者建议使用多毛细管光学器件。
  • 多毛细管光学器件将 X 射线聚焦到 TES 微量热仪上，从而提高其有效检测立体角。

本文介绍了用于表征安装在 STEM 中的多毛细管光学器件的实验装置和方法。
实验结果（包括增益和焦斑尺寸）与多毛细管光学元件的设计值基本一致。
本文得出结论，将多毛细管光学元件与 TES 微量热仪结合使用是提高 STEM 中 EDS 系统精度的可行方法。本研究部分由日本科学技术振兴机构的 SENTAN 项目资助。

来源：https://journals.jps.jp/doi/pdf/10.7566/JPSCP.11.030003

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