DUV 激光的波长是多少？

深紫外 (DUV) 激光器的波长

发射光谱中紫外 (UV) 端的光。DUV 激光器的波长范围通常在 之间。这些激光器工作的波长区域比可见光短，并且接近电磁波谱中 X 射线的边界。

DUV 激光器的应用

DUV 激光器因其独特的特性在各种应用中都至关重要。它们广泛应用于：

• 在半导体晶圆上创建微米和纳米级图案。
• 通过光谱特征识别和量化材料。
• 在微米尺度上对材料进行精密切割、钻孔和整形。
• 例如消毒和 DNA 测序。

DUV 激光器的主要特点

DUV 激光器的特点是：

• 高光子能量 - 使其能够破坏分子键，从而有效地进行蚀刻和材料加工。
• 短波长 - 实现高分辨率成像和图案绘制。那么，这与光学工程有何关系？

光学工程中，选择能够承受深紫外辐射的透镜、反射镜和保护涂层的材料至关重要。深紫外激光器在光束传输和安全防护方面也面临着独特的挑战，因为它们有可能对活体组织造成光化学损伤，并导致传统光学材料降解。