EUV设备的价格是多少？

EUV 设备成本

极紫外光刻 (EUV) 设备对于现代半导体制造工艺至关重要，能够生产更小、更高效、更强大的微芯片。这些设备成本高昂，体现了其所需的先进技术和精密工程。

ASML 是唯一一家生产此类先进系统的公司，其单台 EUV 光刻机的价格可能超过 1.2 亿美元。具体价格会根据配置、附加功能和售后服务协议而有所不同。

2023 年，英特尔收购了 ASML 全部高数值孔径 EUV 光刻机库存，凸显了这项尖端技术的稀缺性和旺盛需求。这些高数值孔径光刻机代表了 EUV 技术的进步，为芯片制造提供了更高的分辨率和效率。虽然这些高数值孔径系统的具体价格尚未披露，但人们普遍认为，它们比标准 EUV 系统贵得多，这意味着其价格远高于 1.2 亿美元。

EUV 设备的巨大成本证明了其在半导体行业中的关键作用，突破了芯片小型化和性能增强的界限。