低损耗亚波长直径双锥光纤锥体的氢氟酸流动蚀刻

引用

Zhang, E. J., Sacher, W. D., & Poon, J. K. S. (2010). 低损耗亚波长直径双圆锥光纤锥的氢氟酸流刻蚀。Optics Express, 18(21), 22593.
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关键词

亚波长直径双锥光纤锥 (SBFT)
氢氟酸刻蚀
低损耗
表面张力驱动流动
马兰戈尼效应
光传输
锥体制造
微液滴
绝热锥体过渡
掺铒二氧化硅微球激光器

简介

本文提出了一种用于制造低损耗亚波长直径双锥光纤锥的新型酸蚀方法，该方法利用表面张力驱动的氢氟酸微液滴流动，使损耗低于0.1 dB/mm，比现有技术提高了一个数量级。

摘要

本文提出了一种利用氢氟酸 (HF) 刻蚀制造低损耗亚波长直径双锥光纤锥 (SBFT) 的新方法。其关键创新之处在于利用表面张力驱动的HF微液滴流动，从而能够形成具有最小表面波纹的绝热锥体过渡。该方法制备的SBFT在腰部直径在500 nm至1 µm之间时损耗小于0.1 dB/mm，在腰部直径大于1 µm时损耗低于0.05 dB/mm。这比之前的酸蚀技术有了显著的改进，之前的酸蚀技术即使在微米级腰部直径下也表现出超过10 dB的插入损耗。本文还展示了制备的SBFT的一个应用：光纤锥耦合掺铒微球激光器。

来源：https://pdfs.semanticscholar.org/cd4d/b7cc911e38c9cff6a0938e09a78d4b8f99dd.pdf