利用亚皮秒激光脉冲和磁组装技术进行微加工与集成
引用
Laakso, Miku. 利用亚皮秒激光脉冲和磁组装技术进行微加工与集成。博士论文，瑞典皇家理工学院，斯德哥尔摩，瑞典，2020年。TRITA-EECS-AVL-2020:10。ISBN 978-91-7873-430-6。
关键词
- 微加工
- 集成
- 亚皮秒激光脉冲
- 磁性组装
- 基板通孔
- 硅通孔 (TSV)
- 玻璃通孔 (TGV)
- 激光钻孔
- 高温应用
- 3D 打印
- 石英玻璃
- 激光诱导表面改性
- 垂直微芯片组装
简介
本文探讨了一种利用磁性组装技术制造用于微电子封装的玻璃通孔的工艺。
摘要
本博士论文探讨了利用亚皮秒激光脉冲和磁性组装的微加工和集成技术。
- 本论文主要关注两种方法：
1、利用亚皮秒激光脉冲局部添加和改性材料；
2、利用外部磁场组装易碎的微米级物体。
- 作者探讨了这些技术的六种应用，重点是微系统的封装和集成。
- 一项关键应用是创建贯穿基板的通孔，即通过器件和封装基板进行电气互连。
- 激光钻孔技术能够在传统蚀刻技术无法实现的位置创建这些通孔。
· 这种方法可以实现倾斜孔，从而有可能提升射频性能。
- 磁性组件用于将金属导体放置在玻璃基板的孔中。
· 玻璃具有射频损耗较低等优势，但在创建均匀孔径方面存在挑战。
- 本论文还研究了使用亚皮秒激光脉冲在具有优异光学特性的石英玻璃中创建三维微结构。
- 该技术能够制造小于一微米的结构。
- 另一项探索的应用是使用亚皮秒激光脉冲进行直接表面结构化，具体来说是在金属表面创建波纹图案。
- 这些图案被称为激光诱导周期性表面结构 (LIPSS)，可以影响表面特性，例如润湿性、细胞生长和光学特性。
· 本论文研究了激光脉冲引起的化学变化与这些波纹图案的反射特性之间的关系。
本论文全面概述了这些技术及其在微加工和集成领域的潜在应用。
来源：https://www.diva-portal.org/smash/get/diva2:1413030/FULLTEXT01.pdf