Nonlinear multiphoton modification of glass substrates for fabrication of high aspect ratio through-glass vias

玻璃基板的非线性多光子改性用于制造高纵横比玻璃通孔

引用

Lee, M.-K., Yu, J.-Z., Chang, H.-Y., Chang, C.-Y., Liu, C.-S., & Lin, P.-C. (2022). 玻璃基板的非线性多光子改性用于制造高深宽比玻璃通孔。 AIP Advances, 12(5), 055011. https://doi.org/10.1063/5.0086879 

关键词

  • 玻璃通孔 (TGV)
  • 非线性多光子改性
  • 皮秒激光
  • 高深宽比
  • 锥角
  • 玻璃中介层
  • 3D-IC 封装
  • 金属化
  • 贝塞尔光束
  • 深蚀刻

简介

本文介绍了一种在玻璃基板上创建玻璃通孔 (TGV) 的方法，该方法采用皮秒激光进行非线性多光子辅助改性工艺，可实现高深宽比 (1:10) 和约 2° 的锥角。

摘要

本文介绍了一种在玻璃基板上创建用于 3D-IC 设计的玻璃通孔 (TGV) 的新方法。该方法涉及使用皮秒激光对玻璃基板进行改性。这种改性使激光蚀刻区域比未改性区域蚀刻速度更快。本文详细介绍了实验装置、玻璃改性机理和制造工艺。

研究人员成功制造出纵横比高达 1:10、锥角约为 2° 的 TGV。本文总结道，这种方法经济高效，能够生产出适合工业应用的高质量 TGV。

来源：https://www.semanticscholar.org/paper/Nonlinear-multiphoton-modification-of-glass-for-of-Lee-Yu/2639b81522d8fba61fabfd4effb43c70842a8f3b

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