超宽带电容式微机械超声换能器 (CMUT) 及晶圆穿透互连技术在浸没式和空气环境中的应用

引用

Adelegan, O. J. (2020). 超宽带电容式微机械超声换能器 (CMUT) 及晶圆穿透互连技术在浸没式和空气环境中的应用 [博士论文，北卡罗来纳州立大学]。

关键词

  • 电容式微机械超声换能器 (CMUT)
  • 超宽带
  • 浸没式和空气应用
  • 声学血管造影
  • 晶圆级互连
  • 二维 CMUT 阵列
  • 硅穿玻璃通孔 (Si-TGV)
  • 铜穿玻璃通孔 (Cu-TGV) 互连
  • 牺牲释放工艺

简介

本论文探讨了用于浸没式和空气应用的超宽带电容式微机械超声换能器 (CMUT) 的设计和制造，以及其与支持电子设备的集成方法。

摘要

这篇2020年的论文题为“超宽带电容式微机械超声换能器 (CMUT) 和晶圆级互连技术在浸没式和空气中的应用”，作者是 Oluwafemi Joel Adelegan，探讨了电容式微机械超声换能器 (CMUT) 技术在超声设备开发中的应用。论文重点研究了用于浸没式和空气中的宽带 CMUT 的开发。

论文分为七章。第一章介绍了研究动机，强调了各种超声应用对宽带换能器的需求。第二章重点介绍了用于声学血管造影的高频超宽带一维 CMUT 阵列的开发，这需要换能器能够在低频下发射信号，并在高次谐波下检测散射回波。第三章讨论了专门用于机载应用的宽带 CMUT 的设计和实现。第四章和第五章详细介绍了在绝缘基板上制作二维CMUT阵列的工艺。第四章重点介绍采用铜穿玻璃通孔互连技术的阵列，第五章则重点介绍采用硅穿玻璃通孔互连技术的阵列。第六章概述了在二维CMUT基板上制作8元件环形CMUT阵列的方法，展示了CMUT技术在创建各种阵列几何形状方面的灵活性。最后，第七章总结了全文，总结了研究贡献，并提出了未来研究方向的建议。

来源：https://www.proquest.com/openview/26c29d55f198f58a8b8e340cb1e05d5c/1?pq-origsite=gscholar&cbl=18750&diss=y

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