玻璃芯基板
光电集成射频通信模块的创新设计理念
引用 Q. H. Dao、A. Skubacz-Feucht、B. Lüers、P. von Witzendorff、C. von der Ahe、L. Overmeyer 等人，“光电集成射频通信模块的创新设计理念”，《Procedia Technology》，第26卷，第245-251页，2016年。 关键词 24 GHz RFID 无线传感器节点 射频通信 3D-MID 光电封装 光功率传输 简介 本文提出了一种新颖的小型化24 GHz射频通信模块设计理念，该模块可集成到金属工件中，并利用能量收集技术实现无线供电。 摘要 Dao 等人于 2016...
光电集成射频通信模块的创新设计理念
引用 Q. H. Dao、A. Skubacz-Feucht、B. Lüers、P. von Witzendorff、C. von der Ahe、L. Overmeyer 等人，“光电集成射频通信模块的创新设计理念”，《Procedia Technology》，第26卷，第245-251页，2016年。 关键词 24 GHz RFID 无线传感器节点 射频通信 3D-MID 光电封装 光功率传输 简介 本文提出了一种新颖的小型化24 GHz射频通信模块设计理念，该模块可集成到金属工件中，并利用能量收集技术实现无线供电。 摘要 Dao 等人于 2016...
谷歌眼镜在儿科手术中的应用：一项探索性研究
引用 Muensterer, O. J., Lacher, M., Zoeller, C., Bronstein, M., & Kübler, J. (2014). 谷歌眼镜在儿科手术中的应用：一项探索性研究。《国际外科杂志》，12，281-289页。 https://doi.org/10.1016/j.ijsu.2014.02.003 关键词 谷歌眼镜 儿科手术 远程医疗 虚拟呈现 数据隐私 创新 免提文档 信息查询 硬件限制 软件限制 简述 谷歌眼镜在临床环境中展现出潜力，例如免提文档和信息收集，但需要改进硬件和软件，并且需要解决数据隐私问题。 摘要...
谷歌眼镜在儿科手术中的应用：一项探索性研究
引用 Muensterer, O. J., Lacher, M., Zoeller, C., Bronstein, M., & Kübler, J. (2014). 谷歌眼镜在儿科手术中的应用：一项探索性研究。《国际外科杂志》，12，281-289页。 https://doi.org/10.1016/j.ijsu.2014.02.003 关键词 谷歌眼镜 儿科手术 远程医疗 虚拟呈现 数据隐私 创新 免提文档 信息查询 硬件限制 软件限制 简述 谷歌眼镜在临床环境中展现出潜力，例如免提文档和信息收集，但需要改进硬件和软件，并且需要解决数据隐私问题。 摘要...
制作具有两种不同高度的透明穿透式三维微电极阵列，用于神经刺激和记录
引用 S.-B. Shin, K.-T. Nam, H. Roh, S. Shim, Y. Son, B.C. Lee, Y.-K. Kim, S.-K. Lee, M. Im, J.-H. Park，制备具有两种不同高度的透明穿透式三维微电极阵列，用于神经刺激和记录，《传感器与执行器：B. Chemical》393 (2023) 134184。https://doi.org/10.1016/j.snb.2023.134184 关键词 微电极阵列 (MEA) 神经刺激与记录 深反应离子刻蚀 (DRIE)...
制作具有两种不同高度的透明穿透式三维微电极阵列，用于神经刺激和记录
引用 S.-B. Shin, K.-T. Nam, H. Roh, S. Shim, Y. Son, B.C. Lee, Y.-K. Kim, S.-K. Lee, M. Im, J.-H. Park，制备具有两种不同高度的透明穿透式三维微电极阵列，用于神经刺激和记录，《传感器与执行器：B. Chemical》393 (2023) 134184。https://doi.org/10.1016/j.snb.2023.134184 关键词 微电极阵列 (MEA) 神经刺激与记录 深反应离子刻蚀 (DRIE)...
利用电化学方法进行真空封装的金无掩模图案化
引用 谢斌、陈丹、王建军、陈建军和洪伟 (2018)。利用电化学方法进行真空封装的金无掩模图案化。《纳米技术与精密工程》，第 1 卷，第 191-196 页。 https://doi.org/10.1016/j.npe.2018.09.001 关键词 真空封装 引线互连 SOI-玻璃阳极键合 金无掩模图案化 电化学刻蚀 高度不平整表面 谐振式压力传感器 简介 本文介绍了一种用于真空封装微机电系统 (MEMS) 器件的引线互连的新方法，该方法采用无掩模电化学刻蚀技术在不平整表面上选择性地刻蚀金膜，以实现可靠的引线键合和长期真空密封。 摘要 本文介绍了一种用于真空封装微机电系统 (MEMS) 器件的引线互连的方法，其中绝缘体上硅 (SOI) 晶圆通过阳极键合到玻璃上。该方法包括在SOI晶片的处理层上蚀刻通孔，并使用氯化物溶液中的电化学溶解选择性地去除处理层上沉积的Cr/Au薄膜。这将留下器件层上的Au薄膜，以便进行引线键合。 与传统方法相比，该方法具有以下几个优势： 它与微加工工艺兼容。 它通过沉积薄金属薄膜，避免了厚金属电镀的复杂制造工艺和应力产生。 无掩模图案化简化了在高度不平整表面上的制造工艺。...
利用电化学方法进行真空封装的金无掩模图案化
引用 谢斌、陈丹、王建军、陈建军和洪伟 (2018)。利用电化学方法进行真空封装的金无掩模图案化。《纳米技术与精密工程》，第 1 卷，第 191-196 页。 https://doi.org/10.1016/j.npe.2018.09.001 关键词 真空封装 引线互连 SOI-玻璃阳极键合 金无掩模图案化 电化学刻蚀 高度不平整表面 谐振式压力传感器 简介 本文介绍了一种用于真空封装微机电系统 (MEMS) 器件的引线互连的新方法，该方法采用无掩模电化学刻蚀技术在不平整表面上选择性地刻蚀金膜，以实现可靠的引线键合和长期真空密封。 摘要 本文介绍了一种用于真空封装微机电系统 (MEMS) 器件的引线互连的方法，其中绝缘体上硅 (SOI) 晶圆通过阳极键合到玻璃上。该方法包括在SOI晶片的处理层上蚀刻通孔，并使用氯化物溶液中的电化学溶解选择性地去除处理层上沉积的Cr/Au薄膜。这将留下器件层上的Au薄膜，以便进行引线键合。 与传统方法相比，该方法具有以下几个优势： 它与微加工工艺兼容。 它通过沉积薄金属薄膜，避免了厚金属电镀的复杂制造工艺和应力产生。 无掩模图案化简化了在高度不平整表面上的制造工艺。...
采用玻璃基扇出型晶圆级封装的高效变压器级隔离DC-DC转换器
引用 L. Cheng, Z. Chen, D. Yu 等，采用玻璃基扇出型晶圆级封装的高效变压器级隔离DC-DC转换器，基础研究 xxx (xxxx) xxx。 关键词 隔离DC-DC转换器 发射器 (TX) 接收器 (RX) 变压器 扇出型晶圆级封装 (FOWLP) 功率密度 效率 简介 本文介绍了一种采用玻璃基扇出型晶圆级封装的隔离DC-DC转换器变压器级封装解决方案，可实现高功率密度和高效率。 摘要 本文介绍了一种名为“封装变压器”（TiP）的隔离式DC-DC转换器的新型解决方案，该方案采用基于玻璃的扇出型晶圆级封装（FOWLP）。这种方法允许变压器的初级和次级线圈通过重分布层（RDL）直接内置于封装中，无需使用单独的笨重变压器芯片。与传统方法相比，这使得设计更紧凑、功率密度更高、效率更高。 以下是本文重点介绍的TiP解决方案的主要优势： 降低成本和尺寸：通过将变压器集成到封装中，TiP解决方案消除了单独变压器芯片占用的成本和空间，从而减小了整体尺寸并降低了制造成本。 提高效率：在FOWLP工艺中使用厚的低损耗RDL来创建变压器绕组，可实现更高的品质因数（Q），从而最大限度地减少能量损失，并比使用传统硅基变压器的转换器提高转换效率。 更高的功率密度：TiP...
采用玻璃基扇出型晶圆级封装的高效变压器级隔离DC-DC转换器
引用 L. Cheng, Z. Chen, D. Yu 等，采用玻璃基扇出型晶圆级封装的高效变压器级隔离DC-DC转换器，基础研究 xxx (xxxx) xxx。 关键词 隔离DC-DC转换器 发射器 (TX) 接收器 (RX) 变压器 扇出型晶圆级封装 (FOWLP) 功率密度 效率 简介 本文介绍了一种采用玻璃基扇出型晶圆级封装的隔离DC-DC转换器变压器级封装解决方案，可实现高功率密度和高效率。 摘要 本文介绍了一种名为“封装变压器”（TiP）的隔离式DC-DC转换器的新型解决方案，该方案采用基于玻璃的扇出型晶圆级封装（FOWLP）。这种方法允许变压器的初级和次级线圈通过重分布层（RDL）直接内置于封装中，无需使用单独的笨重变压器芯片。与传统方法相比，这使得设计更紧凑、功率密度更高、效率更高。 以下是本文重点介绍的TiP解决方案的主要优势： 降低成本和尺寸：通过将变压器集成到封装中，TiP解决方案消除了单独变压器芯片占用的成本和空间，从而减小了整体尺寸并降低了制造成本。 提高效率：在FOWLP工艺中使用厚的低损耗RDL来创建变压器绕组，可实现更高的品质因数（Q），从而最大限度地减少能量损失，并比使用传统硅基变压器的转换器提高转换效率。 更高的功率密度：TiP...
在BOE溶液中对熔融石英玻璃微结构进行深度多级湿法刻蚀
引用 Konstantinova, T. G., Andronic, M. M., Baklykov, D. A., Stukalova, V. E., Ezenkova, D. A., Zikiy, E. V., Bashinova, M. V., Solovev, A. A., Lotkov, E. S., Ryzhikov, I....
在BOE溶液中对熔融石英玻璃微结构进行深度多级湿法刻蚀
引用 Konstantinova, T. G., Andronic, M. M., Baklykov, D. A., Stukalova, V. E., Ezenkova, D. A., Zikiy, E. V., Bashinova, M. V., Solovev, A. A., Lotkov, E. S., Ryzhikov, I....