Microchannel plate fabrication using glass capillary arrays with Atomic Layer Deposition films for resistance and gain

使用具有原子层沉积膜的玻璃毛细管阵列制造微通道板，用于电阻和增益

引用

Popecki, M. A. 等人 (2016)，利用玻璃毛细管阵列和原子层沉积 (ALD) 薄膜制备微通道板以提高电阻和增益，《地球物理学研究与空间物理学杂志》，121，7449–7460，doi:10.1002/2016JA022580。

关键词

  • 原子层沉积 (ALD)
  • 微通道板 (MCP)
  • 玻璃毛细管阵列
  • 二次电子发射 (SEE)
  • 增益
  • 电阻
  • 寿命
  • 空间均匀性
  • 曲面 MCP
  • 温度依赖性

简介

原子层沉积 (ALD) 微通道板 (MCP) 将玻璃毛细管阵列基板与 ALD 薄膜相结合，与传统 MCP 相比，在空间仪器应用中具有诸多优势。

摘要

本文探讨了微通道板 (MCP) 的制造工艺，MCP 广泛应用于图像增强和紫外探测等各种应用。原子层沉积 (ALD) 是一种利用玻璃毛细管阵列制造 MCP 的新方法。

ALD 制造的 MCP 相较于传统制造的 MCP 具有以下主要优势：

  • ALD MCP 允许制造商自主选择 MCP 的玻璃材质、电阻和发射特性。
  • ALD MCP 可以轻松制成曲面或非平面形状。
  • ALD MCP 中使用的硼硅酸盐玻璃放射性物质含量低，因此背景辐射率较低。
  • ALD MCP 中使用的玻璃基板可以进行工程设计，以增强其坚固性。
  • ALD MCP 在其整个使用寿命期间均能保持持续的高增益。
  • ALD MCP 已证明其总提取电荷量高达 7 C/cm²。

本文还讨论了原子层沉积 (ALD) 和传统多通道电容器 (MCP) 的当前发展状况，包括通道直径、背景计数、二次电子产额、增益和提取电荷等特性。

来源：https://agupubs.onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/2016JA022580

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