TEM の検出器とは何ですか?

透過型電子顕微鏡(TEM)の検出器


透過型電子顕微鏡 (TEM) の検出器は、試料と相互作用した電子信号を捕捉し、解釈可能な画像やデータに変換する重要なコンポーネントです。TEM では、さまざまな画像化や分析のニーズに対応するために、さまざまな検出器が使用されています。TEM で使用される主な検出器の種類の概要は次のとおりです。


シンチレータ光電子増倍管

最も古く、最も一般的な検出器の 1 つで、電子を光子に変換するシンチレータ材料と、光子信号を増幅する光電子増倍管で構成されています。従来のイメージングと明視野 TEM に使用されます。


電荷結合素子(CCD)

CCD は、その高い感度と解像度により広く使用されています。これらのデジタル検出器は、シンチレータからの光子信号を直接電子信号に変換し、高品質のデジタル画像を提供します。


直接電子検出器

これらの検出器は、シンチレーションや光子変換を必要とせずに電子を直接検出できるため、信号対雑音比が向上し、データ取得速度が速くなります。これらは、動的研究など、高い時間分解能を必要とするアプリケーションで特に役立ちます。


エネルギーフィルタTEM(EFTEM)検出器

EFTEM は、エネルギー フィルターを使用して特定のエネルギーの電子を選択し、元素マッピングと化学分析を可能にする技術です。EFTEM の検出器は、エネルギーに基づいて識別する必要があり、通常はシンチレーター光電子増倍管システムとエネルギー選択スリットを組み合わせて使用​​します。


環状暗視野検出器

走査透過型電子顕微鏡 (STEM) モードで使用されるこれらの検出器は、高角度で散乱した電子を収集して高コントラストの画像を形成します。従来の TEM 画像ではコントラストがはっきりしない重元素や特徴を画像化するには、これらの検出器が不可欠です。


注: TEM の検出器の選択は、高解像度イメージング、元素分析、電子回折研究などの特定の用途によって異なります。検出器技術の進歩により、材料科学、生物学、ナノテクノロジーにおける TEM の機能と用途は拡大し続けています。

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