DUV レーザーの波長は何ですか?

深紫外線（DUV）レーザーの波長

深紫外線（DUV）レーザー光スペクトルの紫外線（UV）端で光を発する。DUVレーザーの波長範囲は通常、 100～280ナノメートル（nm） これらのレーザーは、可視光よりも短く、電磁スペクトルのX線の境界付近の波長領域で動作します。

DUVレーザーの応用

DUV レーザーは、そのユニークな特性により、さまざまな用途で重要な役割を果たします。以下の分野で広く使用されています。

• 半導体リソグラフィー- 半導体ウェーハ上にマイクロおよびナノスケールのパターンを作成するため。
• 分光法- スペクトル特性を通じて物質を識別し、定量化します。
• マイクロマシニング- マイクロスケールでの材料の精密切断、穴あけ、成形に。
• バイオメディカルアプリケーション- 消毒や DNA 配列解析など。

DUVレーザーの主な特徴

DUV レーザーは次のような特徴があります。

• 高い光子エネルギー - 分子結合を破壊できるため、エッチングや材料処理に効果的です。
• 短波長 - 高解像度の画像化とパターン化が可能 では、これは光学工学とどのように関係するのでしょうか。光学工学では、レンズ、ミラー、保護コーティングに使用する材料として、DUV 放射線に耐えられるものを選択することが重要です。DUV レーザーは、生体組織に光化学的損傷を与えたり、従来の光学材料を劣化させたりする可能性があるため、ビームの伝達と安全対策に関しても独自の課題があります。" } 「」