Beam Trajectory Analysis of Vertically Aligned Carbon Nanotube Emitters with a Microchannel Plate

マイクロチャネルプレートを用いた垂直配向カーボンナノチューブエミッターのビーム軌道解析

引用

Adhikari, BC; Ketan, B.; Kim, JS; Yoo, ST; Choi , EH; Park, KC マイクロチャネルプレートによる垂直配向カーボンナノチューブエミッターのビーム軌道解析。Nanomaterials 2022, 12 , 4313. https://doi.org/10.3390/nano12234313

キーワード

  • 垂直配向カーボンナノチューブ
  • 電界放出
  • ビーム軌道
  • マイクロチャネルプレート
  • 電子ビーム
  • 電界放出顕微鏡
  • 電流電圧特性
  • ファウラー・ノルドハイムプロット
  • 信号対雑音比
  • 曝露時間

簡単な

この記事では、垂直に整列したカーボンナノチューブ (CNT) の 14 x 14 アレイを単一のビーム ソースとして使用して、分散の少ない高解像度の電子ビームを生成する方法について説明します。

まとめ

2022年にNanomaterials誌に掲載されたこの記事では、電子ビーム用途で使用するための垂直配向カーボンナノチューブ（CNT）エミッターの製造と特性評価について説明しています。研究者らは、スパッタリング、フォトリソグラフィー、プラズマ強化化学気相成長（PE-CVD）を組み合わせて、シリコンウェーハ上に14 x 14のCNTエミッターのアレイを製造しました。

この記事の主な調査結果は次のとおりです。

  • 研究者らは、マイクロチャネル プレート (MCP) を使用して、CNT エミッターの電界放出特性を特徴付けました。MCP は、この目的において、しきい値電圧付近での放出電流を増強したり、CNT を損傷から保護したりする機能など、従来の蛍光体スクリーンに比べていくつかの利点があります。
  • 研究者らは、CNT エミッターが 2.9° という小さなビーム発散角を持つ高度に集中した電子ビームを生成することを発見しました。
  • 研究者らは、印加電圧と露光時間を変化させることで電子ビームスポットのサイズを制御することに成功しました。900Vの電圧を印加した後も、ビームスポットのサイズは2.71 mm (FWHM) で一定でした。
  • 研究者らは、露光時間が短くなるにつれて、電子ビーム画像の信号対雑音比（SNR）が増加することを観察した。

著者らは、垂直に整列した CNT エミッターは、電子顕微鏡や X 線イメージングなどの高解像度電子ビーム アプリケーションのソースとして有望であると結論付けています。

出典: https://www.semanticscholar.org/reader/13c9e044988b2bad8cfd9d334079d96398016ba4
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