Characterization of Polycapillary Optics Installed in an Analytical Electron Microscope

分析電子顕微鏡に設置されたポリキャピラリー光学系の特性評価

引用

  • タイトル: 分析電子顕微鏡に搭載されたポリキャピラリー光学系の特性評価
  • 著者：高野明、前畑圭介、伊与本直子、原徹、満田和久、山崎典子、田中圭一
  • ジャーナル: JPS Conf. Proc.
  • 巻数: 11
  • 商品番号: 030003
  • 年: 2016
  • 出典: https://doi.org/10.7566/JPSCP.11.030003

キーワード

  • ポリキャピラリー光学系
  • 走査透過型電子顕微鏡（STEM）
  • エネルギー分散型X線分光法（EDS）
  • TESマイクロカロリメータ
  • シリコンドリフト検出器（SDD）
  • 焦点サイズ
  • 強度増加

簡単な

走査透過型電子顕微鏡 (STEM) に設置されたポリキャピラリー光学系は、エネルギー分散型分光計で使用される TES マイクロカロリメータの検出立体角を拡大することで、ナノスケール材料分析の精度を向上させるという特徴があります。

まとめ

この記事「分析電子顕微鏡に搭載されたポリキャピラリー光学系の特性評価」では、走査透過型電子顕微鏡 (STEM) におけるナノスケール材料分析の精度を高めるためにポリキャピラリー光学系を使用する方法について説明します。

この記事の要点は次のとおりです。

  • 著者らは、シリコンドリフト検出器（SDD）を使用する従来のエネルギー分散型分光計（EDS）ではエネルギー分解能が限られており、正確な分析が妨げられていることを指摘している。
  • 有望な代替手段は、優れたエネルギー分解能を提供する超伝導遷移エッジセンサー (TES) を備えたマイクロカロリメータです。
  • しかし、TES マイクロカロリメータは磁場に敏感であり、感度領域が限られています。これに対処するために、著者らはポリキャピラリー光学系の使用を提案しています。
  • ポリキャピラリー光学系は、X 線を TES マイクロカロリメータに集中させ、有効な検出立体角を改善します。
  • この記事では、STEM に設置されたポリキャピラリー光学系の特性評価に使用される実験セットアップと方法について説明します。
  • ゲインや焦点サイズなどの実験結果は、ポリキャピラリー光学系の設計値とほぼ一致することがわかりました。

この記事は、TES マイクロカロリメータを備えたポリキャピラリー光学系を使用することが、STEM における EDS システムの精度を向上させる実行可能なアプローチであると結論付けています。この研究は、科学技術振興機構の SENTAN プログラムによって部分的に資金提供されました。

出典: https://journals.jps.jp/doi/pdf/10.7566/JPSCP.11.030003
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