MCP: ホウケイ酸ガラス（ガラスキャピラリーアレイ）による製作

ALD MCP製造

ALD MCP の製造プロセスは、ガラス キャピラリー アレイ (GCA) の作成から始まります。ホウケイ酸ガラスは、従来の MCP に使用されるプロセスと同様に、中空のキャピラリー チューブに引き込まれます。繊維は束ねられ、平行に融合され、平らなプレートにスライスされて GCA が形成されます。このプロセスは、ガラス繊維が中空である点で従来の MCP 製造と異なり、コア エッチング ステップが不要になり、製造プロセスのコスト効率が向上します。プレート抵抗を確立するために GCA に薄膜が追加され、その後に別の層が追加されて二次発光層が作成され、GCA が MCP に変換されます。

原子層堆積法（ALD）

ALD は、長さ対直径比の高い毛細管の内面をコーティングする能力があることから選ばれた薄膜堆積技術であり、これは真空蒸着やスパッタリングなどの従来の視線コーティング技術では達成できない偉業です。

ALD MCP 薄膜層

• 抵抗層:この層は厚さ約 0.1μm で、ALD を使用して堆積され、MCP を通る DC またはストリップ電流を確立します。抵抗レベルは、目的のアプリケーションに応じて調整できます。この層は通常、酸化アルミニウムなどの金属酸化物 (高抵抗) とタングステンなどの金属 (低抵抗) で構成されます。
• 二次電子放出（SEE）層：抵抗コーティングの上に塗布され、細孔の最も内側の表面として機能し、Al（2）O（3）（長期ゲイン安定性が良好）やMgO（より高いゲイン）などの材料で作ることができます。
• ニクロム電極層:この層は MCP の上部と下部の表面に堆積され、電位を制御し、MCP の細孔に電荷を回復するための経路を提供します。

ALD MCPの利点

• 独立した選択:ガラス、抵抗、および放射特性を個別に選択できるため、MCP 特性をより細かく制御できます。
• 堅牢性の向上: ALD コーティングされた MCP は、必要な機械的特性に合わせてガラス基板を選択できるため、従来の MCP と比較して堅牢性が向上しています。
• 曲線形式: ALD アプローチにより、曲線状の非平面 MCP を作成できます。

ALD MCP は MCP テクノロジーの大きな進歩であり、従来の方法に比べていくつかの利点を提供し、新しいアプリケーションの可能性を切り開きます。