ファイバーアレイカップリングにおける2次元マイクロアクション機構の設計と解析

引用

孟立新、宿百兴、张立中。 （2023年）。 光纤阵列結合中二次元微動機構の設計と解析 [ファイバーアレイ結合における二次元微動機構の設計と解析].レーザージャーナル, 44 (7), 32-37. https://doi.org/10.14016 / j.ンキ。ジグズ。 2023.07.032

• 著者（中国語）：孟立新、宿百兴、张立中
• 著者（英語翻訳）： MENG Lixin、SU Baixing、ZHANG Lizhong
• 年: 2023
• タイトル (中国語):光纤阵列耦合中二维微動機械構成计及分析
• タイトル（英訳）：ファイバーアレイカップリングにおける2次元マイクロアクション機構の設計と解析
• 雑誌（中国語）：激光杂志
• ジャーナル（英訳）： LASER JOURNAL
• 巻数: 44
• 発行:第7期 (No.7)
• ページ: 32-37 (提供された抜粋のページ番号から推測)
• DOI: 10.14016 / j.ンキ。ジグズ。 2023.07.032

キーワード

• 二次元微動機構 / 二次元微動機構
• 光纤阵列耦合 / ファイバーアレイカップリング
• 柔軟性铰链 / フレキシブルヒンジ
• 圧電駆動 / 圧電駆動
• 平面静電容量センサー / 平面静電容量センサー、PCS
• 位置移拡大 / 変位増幅
• 動き解耦 / モーションデカップリング
• 結合効率 / 結合効率

簡単な

本論文では、空間光とファイバーアレイ間の結合効率を向上させるために、圧電性によって駆動され、変位測定用の平面静電容量センサーを組み込んだ、変位増幅機能を備えた非対称 2 次元マイクロモーション機構を提案し、分析します。

まとめ

本稿では、空間光とファイバーアレイ間の結合効率を向上させるため、変位増幅機能を備えた非対称圧電駆動型2次元マイクロモーション機構を提案する。この設計には、変位測定とモーション分離のためのフレキシブルヒンジと平面静電容量センサー（PCS）が組み込まれている。シミュレーション解析により設計の実現可能性が検証され、最大単方向移動量125μm、2次元移動量177μm、固有周波数500Hz以上が示された。この機構は、逆変調方式の空間分割多元接続無線レーザー通信技術におけるファイバーアレイ結合の高精度かつ広い調整範囲の要件を満たすことを目指している。

起源：