Laser based micro alignment for fabrication of highly precise 2D fiber collimator arrays

高精度2Dファイバーコリメータアレイの製造のためのレーザーベースのマイクロアライメント

引用

Stark, M.、Eßer, G.、Lamott, A.、および Geiger, M. (2004)。高精度の 2D ファイバーコリメータアレイを製造するためのレーザーベースのマイクロアライメント。マイクロエレクトロニクスとフォトニクスにおける光子処理 III』 PR Herman、J. Fieret、A. Piqué、T. Okuda、FG Bachmann、W. Hoving、K. Wasio、X. Xu、JJ Dubowski、DB Geohegan、F. Träger、 Proc. 編集。 SPIE Vol. 5339、144-155ページ。 SPIE、ベリンガム、ワシントン州。

キーワード

  • レーザーベースのマイクロアライメント
  • ファイバーコリメータアレイ(FCA)
  • 2Dファイバーコリメータアレイ
  • 指向精度
  • マイクロレンズアレイ(MLA)
  • 光通信
  • 並列光データチャネル
  • 自由空間伝送
  • アクタージオメトリ
  • サブミクロンの精度
  • FEMベースの解析
  • 熱レーザービームアライメント
  • 動揺メカニズム
  • 温度勾配メカニズム(TGM)
  • インバー(FeNi36)
  • マイクロ光ロータリージョイント
  • シングルモードファイバー

簡単な

この記事では、並列データ伝送を必要とする光通信アプリケーションに不可欠な高精度 2D ファイバー コリメータ アレイの製造においてサブミクロンの精度を達成するために、アクター ジオメトリを使用するレーザー ベースのマイクロ アライメント技術の開発と実験検証について説明します。

まとめ

本論文ではアクタージオメトリを用いたレーザーベースのマイクロアライメント技術を紹介する。この技術は、高精度2Dファイバーコリメータアレイの製造においてサブミクロンの精度を実現する。この手法は、並列データ伝送を必要とする光通信用途に不可欠であり、組み立て後にファイバーをマイクロレンズに正確に調整することで、標準的な製造プロセスの限界を克服する。実験結果により、開発されたアライメント方法の実現可能性と原理的な動作が確認された。

出典: https://sci.bban.top/pdf/10.1117/12.529072.pdf#

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