Research on Common Optical Path Interferometry System Based on Fiber Array for Complex Surface Element Measurement

複雑な表面要素測定のためのファイバーアレイに基づく共通光路干渉計システムの研究

引用

論文(修士論文)は次のように引用できます。
王劲松(ワン・ジンソン)。 (2018).光ファイバー列の複平面要素共光路型干面要素測定システムに基づく共通光路干渉計システムの研究(複雑な表面要素測定のためのファイバーアレイに基づく共通光路干渉計システムの研究) [硕士专业学位论文] ([修士論文])。 南京理工大学 ([南京科学技術大学])。

キーワード

  • 复杂面形状要素 / 複雑な面要素
  • 共光路 / Common Optical Path
  • 干涉量 / 干渉計
  • 光纤阵列 / ファイバーアレイ
  • 非零位干涉检测 / 非ヌル干渉計テスト
  • 光学設計 / 光学設計
  • 装校・位置合わせ・組立
  • 检测精度 / 検出精度
  • 倾斜波面法 / Tilt Wave Surface Method

簡単な

この修士論文では複雑な表面要素を測定するためのファイバーアレイに基づく共通光路干渉計システムの設計と研究を紹介し、自由に生成された点光源アレイを使用してシステムエラーを削減することで、検出の汎用性、精度、および効率を向上させることを目的としています。

まとめ

王劲松 (Wang Jinsong) によるこの修士論文では、ファイバーアレイを動的に設定可能な点光源発生器として利用し、複雑な表面要素を測定するための新しい共通光路干渉計システムを提案しています。この設計は、柔軟なファイバーアレイによる検出汎用性の向上、共通光路によるシステム誤差の低減による検出精度の向上複雑な誤差補正の回避による検出効率の向上を実現することで、CGHやデュアルアーム傾斜波干渉計などの従来の方法の限界を克服することを目指しています。このシステムの有効性は、球面、放物面、円筒面の実験を通じて検証され、Zygo干渉計と比較して高い精度が示されました。

起源:

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