玻璃通孔(TGV):通孔直径与传输

为了计算通孔长度,基板厚度分三步变化(100 μm、200 μm 和 500 μm)。通孔直径和通孔角度保持不变,d = 50 μm,a = 90°。传输系数没有显著差异。只有由于总传输路径长度导致的谐振频率在较厚的基板上偏移。