섬유배열 결합에서의 2차원 미세작용 메커니즘의 설계 및 분석

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孟立新, 宿百兴, 张立中. (2023). 光纤阵列耦合中 2维微动机构设计与分析 [섬유 배열 결합의 2차원 미세 작용 메커니즘의 설계 및 분석].激光杂志(LASER JOURNAL) , 44 (7), 32-37. https://doi.org/10.14016 /j. cnki. jgzz. 2023. 07. 032

• 저자 (중국어):孟立新, 宿百兴, 张立中
• 저자(영어 번역): MENG Lixin, SU Baixing, ZHANG Lizhong
• 연도: 2023
• 제목(중국어):光纤阵列耦合中two维微动机构设计与分析
• 제목(영문 번역): 섬유 배열 결합에서의 2차원 미세 작용 메커니즘의 설계 및 분석
• 저널(중국어):激光杂志
• 저널(영어 번역): 레이저 저널
• 권수: 44
• 호: 제 7期(No. 7)
• 페이지: 32-37 (제공된 발췌문의 페이지 번호에서 추정)
• DOI: 10.14016 / j. cnki. jgzz. 2023. 07. 032

키워드

• 2차원 마이크로 액션 메커니즘
• 光纤阵列耦合 / 파이버 어레이 커플링
• 柔性铰链/플렉시블 힌지
• 压电驱动 / 압전 구동
• 평면형 정전용량 센서, PCS
• 位移放大 / 변위 증폭
• 运动解耦 / 모션 디커플링
• 耦合效率 / 결합 효율

짧은

본 논문에서는 압전으로 구동되는 변위 증폭 기능을 갖춘 비대칭 2차원 미세 운동 메커니즘을 제안하고 분석하며 , 변위 측정을 위한 평면형 정전용량 센서를 통합하여 공간 광과 섬유 배열 간의 결합 효율을 개선하고자 한다.

요약

본 논문은 공간 광과 광섬유 어레이 간의 결합 효율을 향상시키기 위해 변위 증폭 기능을 갖춘 비대칭 압전 구동 2차원 미세 운동 메커니즘을 제안한다 . 이 설계는 변위 측정 및 운동 분리를 위해 유연한 힌지 와 평면형 정전용량 센서(PCS)를 통합한다 . 시뮬레이션 분석을 통해 설계의 타당성을 검증하였으며, 최대 단방향 이동 거리는 125μm, 2차원 이동 거리는 177μm이고, 고유 주파수는 500Hz 이상이다 . 본 메커니즘은 역변조 기반 공간 분할 다중 접속(SDMA) 무선 레이저 통신 기술에서 광섬유 어레이 결합에 필요한 고정밀 및 넓은 조정 범위 요건을 충족하는 것을 목표로 한다.

기원: