고정밀 2D 파이버 콜리메이터 어레이 제작을 위한 레이저 기반 마이크로 정렬

소환

스타크, M., Eßer, G., Lamott, A., & Geiger, M. (2004). 고정밀 2D 광섬유 콜리메이터 어레이 제작을 위한 레이저 기반 마이크로 정렬입니다. 마이크로 전자공학 및 포토닉스 III의 광자 처리 , 편집자: PR Herman, J. Fieret, A. Piqué, T. Okada, FG Bachmann, W. Hoving, K. Washio, X. Xu, JJ Dubowski, DB Geohegan, F. Träger, Proc. of SPIE Vol. 5339 , pp. 144-155. SPIE, 벨링엄, 워싱턴.

키워드

• 레이저 기반 마이크로 정렬
• 광섬유 콜리메이터 어레이(FCA)
• 2D 파이버 콜리메이터 어레이
• 포인팅 정확도
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• FEM 기반 분석
• 열 레이저 빔 정렬
• 업세팅 메커니즘
• 온도 구배 메커니즘(TGM)
• 인바(FeNi36)
• 마이크로 광학 회전 조인트
• 단일 모드 파이버

짧은

본 논문 에서는 액터 기하학을 사용하여 고정밀 2D 파이버 콜리메이터 어레이를 제작할 때 서브 마이크론 정확도를 달성하는 레이저 기반 마이크로 정렬 기술 의 개발과 실험적 검증에 대해 설명합니다 . 이는 병렬 데이터 전송이 필요한 광통신 분야에 매우 중요합니다.

요약

본 논문은 액터 기하 구조를 이용하여 고정밀 2D 광섬유 콜리메이터 어레이 제작 시 서브마이크론 수준의 정확도를 달성하는 레이저 기반 마이크로 정렬 기술을 제시합니다. 이 기술은 병렬 데이터 전송을 필요로 하는 광통신 분야에 필수적이며 , 조립 후 광섬유와 마이크로 렌즈의 정밀한 조정을 가능하게 함으로써 기존 제조 공정의 한계를 극복합니다 . 실험 결과는 개발된 정렬 방법의 실현 가능성과 원리적 거동을 확인합니다.

출처: https://sci.bban.top/pdf/10.1117/12.529072.pdf#