복합 표면 소자 측정을 위한 광섬유 어레이 기반 공통 광 경로 간섭계 시스템 연구
소환
해당 논문(석사학위 논문)을 다음과 같이 인용할 수 있습니다.
王劲松(왕진송). (2018).基于光纤阵列的复杂faceshape Element件共光路型干涉测weight系统设计与研조제 ( 복합 표면 요소 측정을 위한 광섬유 어레이 기반 공통 광로 간섭계 시스템 연구 ) [硕士专业science位论文] ([석사 전문 학위 논문]). 南京이공대학([난징과기대학교]).
키워드
- 复杂facemorphone件 / 복합 표면 요소
- 共光路 / 공통광로
- 干涉测weight / 간섭계
- 光纤阵列 / 파이버 어레이
- 비零位干涉检测 / Non-null 간섭계 테스트
- 光school设计 / 광학 디자인
- 装校 / 정렬/조립
- 检测精degree / 감지 정확도
- 倾斜波면법 / 경사파면법
짧은
본 석사학위 논문은 복잡한 표면 요소를 측정하기 위한 파이버 어레이를 기반으로 한 공통 광 경로 간섭계 시스템 의 설계와 연구를 제시합니다 . 이는 자유롭게 생성된 점 광원 어레이를 사용하고 시스템 오류를 줄임으로써 감지의 다양성, 정확도 및 효율성을 개선하는 것을 목표로 합니다.
요약
왕진송(王錦松)의 본 석사 논문은 복잡한 표면 요소 측정을 위한 새로운 공통 광 경로 간섭계 시스템을 제안합니다. 이 시스템은 동적으로 구성 가능한 점광원 생성기로 광섬유 어레이를 활용합니다 . 본 설계는 유연한 광섬유 어레이를 통해 향상된 검출 다용성 , 공통 광 경로로 인한 시스템 오차 감소로 인한 높은 검출 정확도 , 그리고 복잡한 오차 보정을 생략하여 향상된 검출 효율을 제공함으로써 CGH 및 듀얼 암 틸트파 간섭계와 같은 기존 방식의 한계를 극복하는 것을 목표로 합니다 . 본 시스템의 효과는 구형, 포물면, 원통형 표면에서의 실험을 통해 검증되었으며, Zygo 간섭계 대비 높은 정확도를 보였습니다.
기원: