얼음 보조 전자빔 리소그래피 기반 용매 없는 나노 제조

소환

Hong, Y., Zhao, D., Wang, J., Lu, J., Yao, G., Liu, D., Luo, H., Li, Q., & Qiu, M. (2020). 얼음 보조 전자빔 리소그래피 기반 무용매 나노제조. Nano Letters , [발췌문에 권호 정보가 명시적으로 제공되지 않았습니다. DOI 참조] . doi: 10.1021/acs.nanolett.0c03809

키워드

• 용매 없는 나노 제조
• 얼음 보조 전자빔 리소그래피(iEBL)
• 얼음 리소그래피
• 전자빔 리소그래피(EBL)
• 나노제작
• 광섬유 장치
• 3D 나노구조
• 기상 증착
• 전자 저항으로서의 물 얼음
• 승화
• 블로우오프 프로세스
• 화학 오염 방지
• 비평면 기판
• 굴절률 센서
• 플라스모닉 나노디스크 어레이
• 주사전자현미경(SEM)
• 금속 증착 챔버(MDC)
• 극저온 샘플 홀더
• 전자 자극 탈착
• 물 분자의 분열
• 잔류 인장 응력

짧은

본 논문에서는 전자빔 리소그래피를 위한 전자 레지스트로 얼음을 사용하는 용매 없는 나노 제조 방법을 소개하고 , 광섬유와 같은 비평면 기판에 적용하여 섬세한 나노구조와 굴절률 센서를 만드는 데 적용할 수 있음을 보여줍니다.

요약

본 논문에서는 얼음을 전자 레지스트로 사용하는 새로운 무용매 나노 가공 방법인 얼음 보조 전자빔 리소그래피(iEBL)를 소개합니다 . 이 기술은 공정을 간소화하고, 화학적 오염을 방지하며, 광섬유와 같은 임의의 형상의 기판에 나노 가공을 가능하게 합니다 . 저자들은 단일 모드 광섬유의 단면에 섬세한 나노 구조, 준3차원 구조, 그리고 기능성 굴절률 센서를 제작함으로써 iEBL의 다재다능함을 입증합니다.

출처: https://sci.bban.top/pdf/10.1021/acs.nanolett.0c03809.pdf#