DUV 레이저의 파장은 무엇입니까?

심자외선(DUV) 레이저의 파장

심자외선(DUV) 레이저 빛 스펙트럼의 자외선(UV) 끝 부분에서 빛을 방출합니다. DUV 레이저의 파장 범위는 일반적으로 다음 사이에 해당합니다. 100~280나노미터(nm) . 이 레이저는 가시광선보다 짧은 파장 영역과 전자기 스펙트럼의 X선 경계 근처에서 작동합니다.

DUV 레이저의 응용

DUV 레이저는 고유한 특성으로 인해 다양한 응용 분야에서 매우 중요합니다. 그들은 널리 사용됩니다:

  • 반도체 리소그래피 - 반도체 웨이퍼에 마이크로 및 나노 규모의 패턴을 생성하는 데 사용됩니다.
  • 분광학 - 스펙트럼 특성을 통해 물질을 식별하고 정량화합니다.
  • 미세 가공 - 마이크로 스케일의 재료를 정밀하게 절단, 드릴링 및 성형하는 데 사용됩니다.
  • 생의학 응용 - 소독, DNA 염기서열분석 등.

DUV 레이저의 주요 특징

DUV 레이저는 다음과 같은 특징으로 구별됩니다.

  • 높은 광자 에너지 - 분자 결합을 깨뜨려 에칭 및 재료 가공에 효과적입니다.
  • 단파장 - 고해상도 이미징 및 패턴 가능 그렇다면 이것이 광학 공학과 어떤 관련이 있습니까? 광학 공학에서는 DUV 방사선을 견딜 수 있는 렌즈, 거울 및 보호 코팅 재료를 선택하는 것이 중요합니다. DUV 레이저는 또한 생체 조직에 광화학적 손상을 일으키고 기존 광학 재료를 분해할 가능성이 있기 때문에 빔 전달 및 안전 예방조치 측면에서 고유한 과제를 제기합니다." } ````
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