마이크로채널 플레이트를 이용한 수직 정렬 탄소 나노튜브 이미터의 빔 궤적 분석

소환

BC주 아디카리; 케탄, B.; 김재석; 유성씨; 최은호; Park, KC 마이크로채널 플레이트를 이용한 수직 정렬 탄소 나노튜브 이미터의 빔 궤적 분석. 나노재료 2022, 12 , 4313. https://doi.org/10.3390/nano12234313

키워드

• 수직 정렬 탄소나노튜브
• 전계 방출
• 빔 궤적
• 마이크로채널 플레이트
• 전자빔
• 전계 방출 현미경
• 전류-전압 특성
• 파울러-노르드하임 플롯
• 신호 대 잡음비
• 노출 시간

짧은

이 기사에서는 수직으로 정렬된 탄소 나노튜브(CNT)의 14 x 14 배열을 단일 빔 소스로 사용하여 분산이 낮은 고해상도 전자 빔을 생성하는 방법을 설명합니다.

요약

2022년 Nanomaterials 저널에 게재된 이 기사는 전자빔 응용 분야에 사용하기 위한 수직 정렬 탄소 나노튜브(CNT) 방출체의 제조 및 특성화에 대해 설명합니다. 연구원들은 스퍼터링, 포토리소그래피, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PE-CVD)의 조합을 사용하여 실리콘 웨이퍼에 14 x 14 CNT 이미터 배열을 제작했습니다.

기사의 주요 내용은 다음과 같습니다.

• 연구진은 CNT 방출체의 전계 방출 특성을 특성화하기 위해 마이크로채널 플레이트(MCP)를 사용했습니다. MCP는 이러한 목적을 위해 기존 형광체 스크린에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다. 예를 들어 임계 전압 근처에서 방출 전류를 향상시키고 CNT를 손상으로부터 보호하는 기능이 있습니다.
• 연구진은 CNT 이미터가 2.9°의 작은 빔 발산각으로 고도로 집중된 전자빔을 생성한다는 것을 발견했습니다.
• 연구진은 인가된 전압과 노출 시간을 변화시켜 전자빔 스폿의 크기를 제어할 수 있었습니다. 빔 스폿 크기는 900V의 전압을 인가한 후에도 2.71mm(FWHM)로 일정하게 유지되었습니다.
• 연구진은 노출 시간이 감소함에 따라 전자빔 이미지의 신호 대 잡음비(SNR)가 증가하는 것을 관찰했습니다.

저자들은 수직으로 정렬된 CNT 이미터가 전자 현미경 및 X선 이미징과 같은 고해상도 전자빔 응용 분야의 소스로서 유망함을 보여준다고 결론지었습니다.

출처: https://www.semanticscholar.org/reader/13c9e044988b2bad8cfd9d334079d96398016ba4