저항 및 이득을 위한 원자층 증착 필름이 있는 유리 모세관 배열을 사용한 마이크로채널 플레이트 제작

소환

Popecki, MA 등. (2016), 저항 및 이득을 위한 원자층 증착 필름이 있는 유리 모세관 배열을 사용한 마이크로채널 플레이트 제조, J. Geophys. 결의안. 우주 물리학 , 121 , 7449–7460, doi:10.1002/2016JA022580.

키워드

• 원자층 증착(ALD)
• 마이크로채널 플레이트(MCP)
• 유리 모세관 배열
• 2차 전자 방출(SEE)
• 얻다
• 저항
• 일생
• 공간적 균일성
• 곡선형 MCP
• 온도 의존성

짧은

원자층 증착(ALD) 유리 모세관 배열 기판과 ALD 필름을 결합한 마이크로채널 플레이트(MCP)는 우주 계측에 사용하기 위해 기존 MCP에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다.

요약

이 기사에서는 이미지 강화 및 UV 감지와 같은 다양한 응용 분야에 사용되는 마이크로채널 플레이트(MCP)의 제조에 대해 설명합니다. 원자층 증착(ALD)은 유리 모세관 배열을 사용하여 MCP를 제조하는 새로운 방법입니다.

다음은 기존 방식으로 제작된 MCP에 비해 ALD로 제작된 MCP의 몇 가지 주요 장점입니다.

• ALD MCP를 사용하면 제조업체는 MCP의 유리, 저항 및 방출 특성을 독립적으로 선택할 수 있습니다.
• ALD MCP는 곡선 또는 비평면 형태로 쉽게 만들 수 있습니다.
• ALD MCP에 사용되는 붕규산 유리는 방사성 물질 함량이 낮아 배경 비율이 낮습니다.
• ALD MCP에 사용되는 유리 기판은 향상된 견고성을 제공하도록 설계될 수 있습니다.
• ALD MCP는 수명 동안 지속적으로 높은 이득을 나타냅니다.
• ALD MCP는 7C/cm2의 총 추출 전하를 보여주었습니다.

이 기사에서는 또한 채널 직경, 배경 계수, 2차 전자 수율, 이득 및 추출된 전하와 같은 특성과 관련하여 ALD 및 기존 MCP의 최신 기술 상태에 대해 논의합니다.

출처: https://agupubs.onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/2016JA022580