마이크로채널 플레이트에 전극을 집중시켜 수직 정렬된 탄소나노튜브 빔 궤적 최적화
소환
BC Adhikari, B. Ketan, R. Patil, EH Choi, KC Park, "마이크로채널 플레이트의 전극 집속을 통한 수직 정렬 탄소 나노튜브 빔 궤적의 최적화", Sci. Rep. , vol. 13, 아니. 1, p. 2023년 9월 15140.
키워드
- 탄소나노튜브(CNT)
- 전계 방출
- 전자빔
- 포커싱 전극
- 마이크로채널 플레이트(MCP)
- 고밀도 밝은 점
- 응용
- 시뮬레이션
짧은
이 기사에서는 다중 전자빔 현미경 및 나노 초점 X선 기술과 같은 응용 분야에 유용한 고밀도 밝은 점을 생성하도록 최적화된 탄소 나노튜브 기반 냉음극 전자빔 의 제조를 소개합니다 .
요약
이 기사에서는 마이크로채널 플레이트(MCP) 내의 집속 전극을 사용하여 향상된 전계 방출 특성을 위한 수직 정렬 탄소 나노튜브(CNT) 빔 궤적의 최적화에 대한 연구를 제시합니다.
주요 결과는 다음과 같습니다.
- 이 연구는 집속 전극을 사용함으로써 전자빔 궤적을 줄여 전류 손실 없이 MCP의 밝기와 전류 밀도를 높일 수 있음을 발견했습니다.
- 최적의 구성에는 게이트 메쉬 전극에서 1mm 떨어진 곳에 구멍 크기가 2mm이고 -200V의 낮은 바이어스 전압을 갖는 포커싱 전극이 포함되었습니다. 그 결과 반치폭(FWHM)이 0.9mm이고 개방각이 0.9°인 고밀도 밝은 점이 생성되었습니다.
- 이 설정은 이전 구성에 비해 저렴하고 제작하기 쉬웠습니다.
- 이 연구는 그 결과를 기존 연구와 비교하여 달성된 전자빔 스폿 크기가 더 작고 밝다는 것을 보여줍니다.
- 저자는 고해상도 다중 전자빔 현미경 및 나노 초점 X선 시스템에서 최적화된 CNT 전자빔 소스에 대한 잠재적인 응용을 제안합니다.