Uniformity of AZO conductive film on microchannel plate by atomic layer deposition and effect of annealing on bulk resistance

원자층 증착에 의한 마이크로채널 플레이트의 AZO 전도성 필름의 균일성과 벌크 저항에 대한 어닐링 효과

소환

Zhu, Y., Xu, Z., He, H., Wang, G., Xia, J., Wang, J., Yang, J., & Li, Y. (2023). 원자층 증착과 벌크 저항에 대한 어닐링 효과에 의한 마이크로채널 플레이트의 AZO 전도성 필름의 균일성. 재료 연구 익스프레스 , 10 (8), 086402.

키워드

  • 원자층 증착(ALD)
  • 마이크로채널 플레이트(MCP)
  • AZO 전도성 필름
  • 가열 냉각
  • 대량 저항
  • 트리메틸알루미늄(TMA)
  • 두께 균일성
  • 구성 균일성

짧은

이 기사에서는 원자층 증착(ALD)을 사용하여 마이크로채널 플레이트(MCP)의 마이크로채널 내에 균일한 AZO(ZnO/Al2O3) 전도성 필름을 생성하는 방법을 조사하고 어닐링이 필름의 벌크 저항에 미치는 영향을 분석합니다.

요약

Materials Research Express 에 게재된 2023년 기사 "원자층 증착에 의한 마이크로채널 플레이트의 AZO 전도성 필름의 균일성 및 벌크 저항에 대한 어닐링 효과"는 원자층 증착(ALD)을 사용하여 마이크로채널 플레이트(MCP)의 특성을 향상시키는 데 중점을 둡니다. 저자는 특히 트리메틸알루미늄(TMA)의 펄스 시간을 500ms로 연장하여 ALD 공정 매개변수를 조정하여 MCP 마이크로채널 내에서 AZO(ZnO/Al2O₃) 필름의 균일한 증착을 달성했습니다. 이는 TMA가 ZnO를 부식시켜 필름 두께와 구성의 불일치를 초래하는 문제를 해결했습니다.

연구 결과에 따르면 MCP를 질소(N2) 환경에서 300°C에서 60분 동안 어닐링하면 벌크 저항 안정성이 크게 향상되는 것으로 나타났습니다. 이러한 개선은 질소와 필름의 상호 작용으로 인한 캐리어 농도와 이동도의 감소에 기인합니다. 연구에서는 ZnO/Al2O₃ = 7/2의 전도성 층 구조를 갖는 MCP가 이러한 조건에서 어닐링될 때 다양한 테스트 전압에 걸쳐 안정적인 벌크 저항을 입증한다는 점을 강조했습니다. 이러한 안정성은 MCP의 운영 효율성에 매우 중요합니다.

출처: https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2053-1591/acedee/pdf
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