MCP: 붕규산 유리를 사용한 제작(유리 모세관 어레이)

ALD MCP 제조

ALD MCP 제조 공정은 유리 모세관 배열(GCA) 생성으로 시작됩니다. 붕규산 유리는 기존 MCP에 사용되는 공정과 유사하게 속이 빈 모세관으로 유입됩니다. 섬유는 함께 묶이고 평행하게 융합된 다음 평평한 판으로 썰어 GCA를 형성합니다. 이 공정은 유리 섬유가 속이 비어 있어 코어 에칭 단계가 필요 없고 제조 공정이 더욱 비용 효율적이라는 점에서 기존 MCP 제조와 다릅니다. 플레이트 저항을 설정하기 위해 GCA에 얇은 필름을 추가한 다음, 2차 발광층을 생성하기 위해 다른 층을 추가하여 GCA를 MCP로 변환합니다.

원자층 증착(ALD)

ALD는 길이 대 직경 비율이 높은 모세관의 내부 표면을 코팅하는 능력을 위해 선택된 박막 증착 기술로, 진공 증발이나 스퍼터링과 같은 기존의 가시선 코팅 기술로는 달성할 수 없는 기술입니다.

ALD MCP 박막층

• 저항층: 두께가 약 0.1μm인 이 층은 ALD를 사용하여 증착되고 MCP를 통해 DC 또는 스트립 전류를 설정합니다. 저항 수준은 의도한 용도에 따라 조정될 수 있습니다. 이 층은 일반적으로 산화알루미늄(높은 저항)과 같은 금속 산화물과 텅스텐(낮은 저항)과 같은 금속으로 구성됩니다.
• 2차 전자 방출(SEE) 층: 저항성 코팅 위에 적용되는 이 층은 기공의 가장 안쪽 표면 역할을 하며 Al(2)O(3)(우수한 장기 이득 안정성) 또는 MgO( 더 높은 이득).
• 니크롬 전극층: 이 층은 MCP의 상단 및 하단 표면에 증착되어 전위를 제어하고 MCP 기공에 전하를 복원하는 경로를 제공합니다.

ALD MCP의 장점

• 독립적 선택: 유리, 저항성 및 방출 특성을 독립적으로 선택할 수 있으므로 MCP 특성을 더 효과적으로 제어할 수 있습니다.
• 향상된 견고성: ALD 코팅 MCP는 원하는 기계적 특성에 맞게 유리 기판을 선택할 수 있기 때문에 기존 MCP에 비해 향상된 견고성을 나타냅니다.
• 곡선형 형식: ALD 접근 방식을 사용하면 곡선형, 비평면형 MCP를 생성할 수 있습니다.

ALD MCP는 MCP 기술의 중요한 발전을 나타내며 기존 방법에 비해 여러 가지 이점을 제공하고 새로운 응용 분야의 가능성을 열어줍니다.