3D 통합을 위한 기반 RF 수동 소자를 통한 유리 투과형에 대한 조사

소환

도이: 10.1109/JEDS.2018.2849393 *

키워드

• 인덕터를 통해 유리를 통해
• 통합 수동 장치
• 대역 통과 필터
• 3D 통합

짧은

이 기사 에서는 3D 통합에서 무선 주파수 수동 부품으로 TGV(관통 유리 비아)를 사용하는 방법을 조사하여 특히 대역 통과 필터와 같은 응용 분야에서 낮은 전기 손실, 컴팩트한 크기 및 뛰어난 필터링 성능 측면에서 장점을 보여줍니다. 무선 통신 시스템.

요약

이 기사에서는 3D 통합에서 무선 주파수(RF) 수동 부품을 위한 잠재적인 재료로서 유리 비아(TGV)를 통해 조사합니다. TGV는 기존 실리콘 비아에 비해 낮은 전기 손실, 저렴한 비용, 쉬운 제조 등 다양한 장점을 가지고 있습니다. 저자는 TGV 직경, 인터포저 두께, TGV 피치, 회전 수, RDL 높이 및 RDL 폭과 같은 설계 매개변수의 영향을 받아 TGV 인덕터의 전기적 특성, 특히 인덕턴스 및 품질 계수를 조사합니다. 기사에서는 TGV 인덕터가 높은 인덕턴스와 품질 계수를 보여 RF 수동 부품 애플리케이션에 적합하다고 보고합니다. 또한 이 기사에서는 TGV 인덕터와 병렬 플레이트 커패시터를 사용하여 2.4GHz WLAN 애플리케이션을 위한 소형 3D 대역 통과 필터(BPF)를 설계하는 방법을 보여줍니다. 이 TGV 기반 BPF는 이전에 보고된 BPF에 비해 컴팩트한 크기와 우수한 필터링 성능을 보여주었습니다.

출처: https://ieeeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=8391707