서브 피코초 레이저 펄스와 자기 조립을 이용한 마이크로 제작 및 통합
소환
라크소, 미쿠. Sub-Picosecond Laser Pulses and Magnetic Assembly를 이용한 Microfabrication and Integration . 박사 학위 논문, KTH Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden, 2020. TRITA-EECS-AVL-2020:10. ISBN 978-91-7873-430-6.
키워드
- 마이크로 제작
- 완성
- 서브 피코초 레이저 펄스
- 자석 조립
- 기판 관통 비아
- 실리콘 관통 비아(TSV)
- 유리 관통 비아(TGV)
- 레이저 드릴링
- 고온 응용 분야
- 3D 프린팅
- 실리카 유리
- 레이저 유도 표면 개질
- 수직 마이크로칩 조립
짧은
이 기사에서는 자기 조립을 사용하여 마이크로 전자 패키징에 사용되는 유리 관통 비아를 제작하는 과정에 대해 논의할 것입니다.
요약
이 박사학위 논문에서는 서브 피코초 레이저 펄스 와 자기 조립을 활용한 미세 제작 및 통합 기술을 탐구합니다.
- 본 논문은 두 가지 주요 방법에 초점을 맞추고 있다.
- 서브 피코초 레이저 펄스를 사용하여 재료를 국부적으로 추가 하고 수정합니다 .
- 외부 자기장을 사용하여 마이크로미터 크기의 깨지기 쉬운 물체를 조립합니다 .
- 저자는 패키징과 마이크로시스템 통합 에 초점을 맞춰 이 기술의 여섯 가지 응용 분야를 탐구합니다.
- 주요 응용 분야 중 하나는 기판 관통 비아를 만드는 것인데, 이는 장치와 패키지 기판을 통한 전기적 상호 연결입니다.
- 레이저 드릴링을 사용하면 기존 에칭 기술이 실행 불가능한 위치에도 이러한 비아를 만들 수 있습니다.
· 이 접근 방식은 기울어진 구멍을 허용하여 잠재적으로 무선 주파수 성능을 향상시킵니다 .
- 자기 조립은 유리 기판의 구멍에 금속 도체를 배치하는 데 사용됩니다.
· 유리는 무선 주파수 손실이 낮다는 장점이 있지만, 균일한 구멍을 만드는 데 어려움이 있습니다.
- 또한, 이 논문에서는 실리카 유리(뛰어난 광학적 특성을 가진 소재)에 3D 미세 구조를 만드는 데 서브 피코초 레이저 펄스를 사용하는 방법을 살펴본다.
- 이 기술을 사용하면 1마이크로미터보다 작은 구조물을 제작할 수 있습니다.
- 또 다른 응용 분야로는 서브 피코초 레이저 펄스를 사용하여 직접적인 표면 구조화를 구현하고, 특히 금속 표면에 리플 패턴을 만드는 방법이 있습니다.
- 이러한 패턴은 레이저 유도 주기적 표면 구조(LIPSS)로 알려져 있으며, 젖음성, 세포 성장, 광학적 특성과 같은 표면 특성에 영향을 미칠 수 있습니다.
· 본 논문에서는 레이저 펄스에 의해 유도된 화학적 변화 와 이러한 리플 패턴의 반사 특성 사이의 관계를 조사합니다.
본 논문에서는 이러한 기술과 마이크로제작 및 통합 분야에서의 잠재적 응용 분야에 대한 포괄적인 개요를 제공합니다.
출처: https://www.diva-portal.org/smash/get/diva2:1413030/FULLTEXT01.pdf