침지 및 공기 응용 분야를 위한 초광대역 용량성 미세 가공 초음파 변환기(CMUT) 및 웨이퍼 관통 상호 연결
소환
Adelegan, OJ(2020). 초광대역 용량성 미세 가공 초음파 변환기(CMUT) 및 침지 및 공기 응용 분야를 위한 웨이퍼 관통 상호 연결 [박사학위 논문, 노스캐롤라이나 주립대학교].
- 용량성 마이크로머신 초음파 변환기(CMUT)
- 초광대역
- 침지 및 공기 응용 프로그램
- 음향 혈관조영술
- 웨이퍼를 통한 상호 연결
- 2D CMUT 배열
- 실리콘-유리-비아(Si-TGV)
- 구리-유리-비아(Cu-TGV) 상호 연결
- 희생 방출 과정
짧은
본 논문에서는 침지 및 공기 중에서 사용할 수 있는 초광대역 용량성 미세 가공 초음파 트랜스듀서(CMUT)의 설계 및 제작과 이를 지원하는 전자 장치와 통합하는 방법을 살펴본다.
요약
올루와페미 조엘 아델레건의 2020년 논문 "초광대역 용량성 미세 가공 초음파 트랜스듀서(CMUT) 및 침지 및 공기 응용 분야를 위한 웨이퍼 관통 상호 연결"은 초음파 장치 개발에 용량성 미세 가공 초음파 트랜스듀서(CMUT) 기술을 사용하는 방법을 탐구합니다. 이 논문은 침지 및 공기 모두에서 사용할 수 있는 광대역 기능을 갖춘 CMUT를 만드는 데 중점을 둡니다.
논문은 7개 장으로 나뉩니다. 1장에서는 연구 동기를 소개하고 다양한 초음파 응용 분야에서 광대역 기능을 갖춘 트랜스듀서의 필요성을 강조합니다. 2장에서는 음향 혈관조영술을 위한 고주파 초광대역 1D CMUT 어레이의 개발에 초점을 맞추고 있으며, 여기에는 저주파에서 전송하고 더 높은 고조파에서 산란 에코를 감지할 수 있는 트랜스듀서가 필요합니다. 3장에서는 특히 공중 응용 분야를 위한 광대역 CMUT의 설계 및 구현에 대해 설명합니다. 4장과 5장에서는 절연 기판에 2D CMUT 어레이를 제작하는 프로세스를 자세히 설명합니다. 4장은 구리-유리-비아 상호 연결을 사용하는 어레이에 초점을 맞추고, 5장은 실리콘-유리-비아 상호 연결을 사용하는 어레이에 초점을 맞춥니다. 6장에서는 2D CMUT 캔버스에서 8개 요소 환형 CMUT 어레이를 제작하는 방법을 설명하며, 다양한 어레이 형상을 만드는 데 있어 CMUT 기술의 유연성을 보여줍니다. 마지막으로 7장에서는 논문의 결론을 내리고, 연구 기여를 요약하며 향후 연구 방향에 대한 제언을 제시한다.