분석용 전자현미경에 설치된 다모세관 광학의 특성 분석
소환
- 제목: 분석용 전자현미경에 설치된 다모세관 광학 장치의 특성 분석
- 저자: 타카노 아키라, 마에하타 케이스케, 이요모토 나오코, 하라 토루, 미츠다 카즈히사, 야마사키 노리코, 다나카 케이이치
- 저널: JPS Conf. 진행
- 볼륨: 11
- 품목 번호: 030003
- 연도: 2016
- DOI: https://doi.org/10.7566/JPSCP.11.030003
키워드
- 다모세관 광학
- 주사투과전자현미경(STEM)
- 에너지 분산형 X선 분광법(EDS)
- TES 미세열량계
- 실리콘 드리프트 검출기(SDD)
- 초점 크기
- 강도 이득
짧은
주사투과전자현미경(STEM)에 장착된 다모세관 광학장치는 에너지 분산형 분광계에 사용되는 TES 미세열량계의 검출 입체각을 높여 나노크기 물질 분석의 정확도를 높이는 것이 특징입니다.
요약
"분석용 전자현미경에 설치된 다모세관 광학의 특성화"라는 기사에서는 주사 투과 전자현미경(STEM)에서 나노규모 재료 분석의 정확성을 높이기 위해 다모세관 광학을 사용하는 방법을 탐구합니다.
다음은 기사의 몇 가지 핵심 사항입니다.
- 저자는 실리콘 드리프트 검출기(SDD)를 사용하는 기존 에너지 분산 분광계(EDS)가 에너지 분해능이 제한되어 정밀한 분석을 방해한다는 점에 주목합니다.
- 유망한 대안은 뛰어난 에너지 분해능을 제공하는 초전도 전이 가장자리 센서(TES)를 갖춘 미세열량계입니다.
- 그러나 TES 미세 열량계는 자기장에 민감하며 민감한 영역이 제한되어 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 저자는 다모세관 광학을 사용할 것을 제안합니다.
- 다모세관 광학은 X선을 TES 미세열량계에 집중시켜 효과적인 검출 입체각을 향상시킵니다.
- 이 기사에서는 STEM에 설치된 다모세관 광학을 특성화하는 데 사용되는 실험 설정 및 방법론을 설명합니다.
- 이득 및 초점 크기를 포함한 실험 결과는 다모세관 광학의 설계된 값과 대체로 일치하는 것으로 나타났습니다.
이 기사는 TES 미세열량계와 함께 다모세관 광학을 사용하는 것이 STEM에서 EDS 시스템의 정확성을 향상시키는 실행 가능한 접근 방식이라고 결론지었습니다. 이 연구는 일본 과학기술청의 SENTAN 프로그램의 일부 자금 지원을 받았습니다.
출처 : https://journals.jps.jp/doi/pdf/10.7566/JPSCP.11.030003